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氣體知識
高純氬氣作為保護氣體，用于半導體行業生產高純硅和鍺晶體；可作為惰性氣體，用于系統清洗、屏蔽及機械增壓；應用于化學氣相沉積，濺射，退火等過程。它還可作為色譜載氣，在大規模集成電路中也可作為稀釋氣，用于混合氣體。
稀有氣體是指氬氣、霓虹燈、氦氣、氪氣和氙氣。由于它們的沸點不同，空氣中的含量也有很大的不同，所以每個成分都聚集在蒸餾塔的不同部分。
氬氣、氦氣、氙氣、氖氣、氪氣等電子特氣在生活生產中都存在著哪些用途
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